[19p-C207-1~17] 11.4 アナログ応用および関連技術

[19p-C207-1] 石英基板上での大面積・高品質NbTiN薄膜成膜法

〇川上 彰¹、安藤 綜真²、鈴木 康大²、小松 源³、齊藤 敦²、武田 正典³、寺井 弘高¹、鵜澤 佳徳⁴ (1.情通機構、2.山形大学、3.静岡大学、4.国立天文台)

キーワード：NbTiN、Nb、同調回路

超伝導SISミキサは比較的大きな接合容量を有し、優れた同調回路が不可欠である。現在、ALMA望遠鏡Band10 用のSISミキサは、溶融石英基板上に成膜した高品質NbTiN超伝導薄膜を用いて同調回路を作製、量子雑音限界の5倍以下の優れた低雑音受信機を実現している。しかし高品質NbTiN薄膜を再現性良く大面積に形成することは困難で、今回，Nbバッファ層による新たなNbTiN成膜法を検討。本方法で作製したNbTiN薄膜は，T_C=14.9 K，ρ_20K=89.9 μΩcmの良好な直流特性を示した．