[19p-C207-1~17] 11.4 アナログ応用および関連技術

[19p-C207-15] SSPDの高性能化に向けたNbTiN薄膜の成膜条件の検討

〇(M2)藤井 勇磨^1,2、知名 史博²、薮野 正裕²、寺井 弘高²、神野 伊策¹、三木 茂人^1,2 (1.神戸大工、2.情通機構)

キーワード：超伝導単一光子検出器

超伝導単一光子検出器(SSPD)は，高計数率等を実現できる検出器として注目されている．我々は，窒化ニオブチタン(NbTiN)薄膜を用いたSSPDの研究開発を行ってきたが，従来のNbTiN薄膜の超伝導特性がSSPDに最適であるかは明らかにされていない．今回我々は，薄膜の特性がSSPDの動作特性に影響を及ぼすか探索するため，従来とは異なる条件で成膜された薄膜の超伝導特性の評価を行い，ナノワイヤ形成による光応答特性の評価を行ったので報告する．