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△ [19p-C207-16] 900-1100nm帯用超伝導ナノワイヤ単一光子検出器の開発
キーワード:超伝導ナノワイヤ単一光子検出器、誘電体多層膜
本稿では、半導体アバランシェフォトダイオードでの光子検出が難しい、波長900nm-1100nm帯用の超伝導ナノワイヤ単一光子検出器(SSPD)の開発について述べる。目標波長領域内の光子検出効率を最大化するため、誘電体多層膜上にSSPDを作製した。またスーパーコンティニューム光源を用いてSSPDの光子検出効率の波長依存性を測定し、誘電体多層膜の光学特性が測定結果によく反映されていることを確認した。