[19p-E207-1~9] 3.11 Photonic structures and phenomena

[19p-E207-4] Resonant wavelength variation of high-Q Si nanocavities by local thickness fluctuation

〇Natsumi Tanaka¹, Kengo Tanaka², Takashi Asano², Susumu Noda², Yasushi Takahashi¹ (1.Osaka Pref. Univ., 2.Kyoto Univ.)

Keywords:Photonics

先行研究において我々は，λばらつき低減には，高Q値化と同様に，空気孔揺らぎ（円孔中心と半径）を小さくすることが重要であることを明らかにしてきた．しかしこれまで，作製精度の向上により実験Q値が1000万以上まで増大する一方で，λばらつきは期待されるほどは低減してこなかった．今回，局所的なシリコンスラブの膜厚揺らぎもλばらつきに強く影響していることが示唆されたので報告する．