[19p-E303-1~8] 3.7 レーザープロセシング

[19p-E303-3] アブレーション粒子の小型化による水酸アパタイト成膜の結晶化の向上

〇屋代 英彦¹、梅林 信弘¹、欠端 雅之¹ (1.産総研　電子光)

キーワード：パルスレーザーデポジッション、レーザーアブレーション、水酸アパタイト

インプラント材料にPLD法でアパタイト成膜を行う研究を行っている。これまでは水蒸気0.15Torr、基板温度500℃で80％のアパタイト結晶化及びそれ以上の圧力での比率減少が分かっている。今回、完全結晶化のため小型粒子のみで成膜を行った。成膜物質の顕微ラマン分光による評価では390℃で成膜がアモルファスリン酸カルシウムから水酸アパタイトに急激に変化していることが確かめられた。