[19p-E304-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[19p-E304-7] ミニマルファブで作成したオペアンプ回路

〇加瀬 雅¹、古賀 和博²、中道 修平²、井原 昭典²、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.産業技術総合研究所、2.ミニマルファブ推進機構)

キーワード：ミニマル、デバイス、オペアンプ

我々は超小型デバイス製造システム・ミニマルファブの開発を行っている。これまで、n型のバルクSi基板とAlゲート電極を用いたCMOSを試作し良好な特性を得ている。このCMOSプロセスは非常に汎用性が高いプロセスであるように設計してある。そこで、今回、実際に本CMOSプロセスを用いたOPアンプの試作を行った。プロセス完成後のオペアンプ回路を測定し、反転増幅の動作確認ができた。