[19p-E313-1~9] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [19p-E313-3] 組成傾斜層を有するSi基板上高Ge組成SiGe膜の深さ分解ナノビームX線回折評価

〇志田 和己¹、藤平 哲也¹、林 侑介¹、隅谷 和嗣²、今井 康彦²、木村 滋²、酒井 朗¹ (1.阪大院基礎工、2.JASRI)

キーワード：ナノビームX線回折、SiGe、組成傾斜層