[19p-E318-1~10] 7.1 X線技術

[19p-E318-2] 200～900 eV域対応高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型Ｗ/Ｃ多層膜回折格子の設計(II)

〇小池 雅人¹、羽多野 忠²、寺内 正己²、ピロジコフ アレキサンダー¹、林 信和³、笹井 浩行³、長野 哲也³ (1.量研量子ビーム、2.東北大学多元研、3.島津製作所デバイス部)

キーワード：回折格子、軟X線多層膜、スペクトル分解能

ラミナー型回折格子への軟X線多層膜の付加及び入射角を小さくすることにより、Fe-L発光(705.0 eV, 1.76 nm)を中心とした広いエネルギー領域での回折効率の向上を図る方法について前回述べた。しかし、入射角の減少とともに角分散も小さくなり、スペクトル分解能が低下する問題があった。そこで今回は回折格子の刻線密度を増加させ、スペクトル分解能も向上させる方法について検討したので報告する。