[19p-PB1-1~34] 12.7 医用工学・バイオチップ

[19p-PB1-27] 溶存酸素とpHを同時に検出可能なFET型センサデバイスの開発

〇ルー シルヴィアメイリン¹、杉原 勇也¹、飛沢 健¹、野田 佳子²、神谷 幸子¹、村上 健介¹、李 宥奈¹、高橋 一浩^1,2、野田 俊彦^1,2、澤田 和明^1,2 (1.豊橋技科大、2.エレクトロニクス先端融合研究所)

キーワード：溶存酸素、酸化スズ、ISFET

好気性生物に必要不可欠な酸素挙動と、pHの変化を同時に可視化することができれば、細胞活動の解明に繋がると考えられる。本報では、酸化スズ(SnO₂)を感応膜とした平坦な構造を持つISFETを作製し、溶存酸素(DO)を検出する可能性を検討する。DOを検出するISFET (DO-ISFET)の作製と並行して、pHを検出するISFET (pH-ISFET)も作製し、それぞれのpH・DO特性を検討した。pH6付近におけるDO-ISFETのDO応答はpH-ISFETのDO応答に対して有意差を示した。