[20a-B11-1~10] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [20a-B11-2] 発光分光計測による電子エネルギー分布関数診断にむけた低気圧マイクロ波放電アルゴンプラズマの励起状態分布の解析

〇山下 雄也¹、赤塚 洋² (1.都立産業技術研究センター、2.東工大研究院)

キーワード：原子過程モデル、衝突輻射モデル、電子エネルギー分布関数

本研究では励起状態分布解析により，発光分光計測による電子エネルギー分布関数(EEDF)診断の可能性を検討した．低気圧マイクロ波放電アルゴンプラズマを対象に，プローブ計測により実測したEEDF，MaxwellおよびDruyvesteyn分布を入力とし衝突輻射モデルにより励起状態分布を求めた．準位3d’[3/2]^○₂+[5/2]^○_2,3 – 準位16’においてEEDF依存性が強いことが明らかとなった．