[20a-C212-1~4] 酸化物中の水素とその役割

[20a-C212-3] Siデバイスにおける絶縁膜信頼性と水素

〇三谷 祐一郎¹、関 春海¹、中崎 靖¹ (1.東芝メモリ(株))

キーワード：酸化膜、信頼性、水素

シリコンデバイス中の水素は、酸化膜やその界面の欠陥を修復しパフォーマンスを向上させる。一方で、デバイス動作中の信頼性劣化にそれらの水素が深く関わる。しかし、このような信頼性に関与する水素を直接観測することは難しく、間接的な実験や科学計算などで、水素の働きを解明する試みが行われている。本講演では、水素起因のシリコン酸化膜信頼性劣化の機構に関して、どこまで理解が進んでいるかという点で整理し議論をする。