[20a-C310-1~12] 6.4 薄膜新材料

[20a-C310-2] デュアル PLD 法による面内組成傾斜薄膜作製と相境界の観察

〇坂井 穣¹、フエンテス アルバ¹、バレス パブロ¹、ロケ ホセ M C¹、パディーヤ パントーハ ジェシカ¹、ソーチエ ギヨーム¹、サンティソ ホセ¹、カタラン グスタオ¹ (1.ICN2)

キーワード：組成傾斜薄膜、デュアルPLD、PZT

デュアルPLD法を用いて面内組成傾斜PbZr_xTi_1-xO₃薄膜を作成した。組成傾斜膜表面の異なる点で組成、表面形状、結晶構造、電子特性を観測した。