[20a-C310-1~12] 6.4 薄膜新材料

[20a-C310-7] Nafion電解液中のNiO_x薄膜のエレクトロクロミック特性に与えるTa₂O₅保護膜の影響

〇中居 千尋¹、阿部 良夫¹、川村 みどり¹、金 敬縞¹、木場 隆之¹ (1.北見工大)

キーワード：エレクトロクロミック、保護膜、電解液

反応性スパッタ法を用いてNiO_x薄膜上にTa₂O₅保護膜を積層させ、電解液によるNiO_x薄膜の溶解防止効果とそのEC特性の評価を行った。保護膜を積層させることによって保護膜無しの試料と比較すると、NiO_x薄膜の溶解が防止されサイクル耐久性が向上した。また、Ta₂O₅薄膜の膜厚が10nmと薄いためNiO_x薄膜への十分なイオン拡散が生じ、NiOx薄膜の色変化も確認された。