[20a-E201-1~10] 17.3 層状物質

[20a-E201-10] 多層MoS₂電界効果トランジスタで観測される階段状の伝達特性

〇(M2)大岡 拓也¹、野内 亮^1,2 (1.大阪府大院工、2.JST さきがけ)

キーワード：MoS2、電界効果トランジスタ、階段状の伝達特性

代表的な層状半導体であるMoS₂をチャネル層として用いた電界効果トランジスタにおいて、通常とは異なるFET特性が見られることがある。特に多層のMoS₂をチャネル材料とした場合にみられる階段状の伝達特性について報告する。この特性は薄片膜厚が厚いものほど見られやすい傾向にあり、この点を踏まえ、エッジ伝導チャネルや膜構造の不均一性の観点から議論する。