[20a-E203-1~12] 7.5 イオンビーム一般

[20a-E203-11] 反応性ガスクラスターインジェクションによる高アスペクト比エッチングに向けた研究

〇瀬木 利夫¹、荘所 正²、小池 国彦²、青木 学聡³、松尾 二郎¹ (1.京大院工、2.岩谷産業、3.京大メディアセンター)

キーワード：クラスター、中性ビーム、高アスペクト比エッチング