[20a-E203-1~12] 7.5 イオンビーム一般

△ [20a-E203-4] Ge(110)表面への低エネルギーArイオン照射効果と陽電子消滅を用いた表面構造の研究

〇塚元 隆太¹、一宮 正義¹、薮内 敦²、高宮 幸一²、木野村 淳²、柳沢 淳一¹ (1.滋賀県立大工、2.京大複合研)

キーワード：イオンビーム、ナノ構造、イオン注入