[20a-E314-1~8] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[20a-E314-3] High spatial resolution photoluminescence imaging by subpixel shift

Koichi Takeuchi¹, 〇Kentaro Kutsukake², Takuto Kojima³, Hiroaki Kudo³, Tetsuya Matsumoto³, Noritaka Usami¹ (1.Eng., Nagoya Univ., 2.AIP, RIKEN, 3.Inf., Nagoya Univ.)

Keywords:imaging, photoluminescence, super-resolution

PLイメージングは、多結晶Si太陽電池において問題となる転位クラスターを検出する方法として多く用いられている。しかし、ウェーハ全体を撮影する場合はカメラの画素数による空間分解能の限界があり、またカメラを近づけて分解能を上げる場合も、装置構造による制限やピクセル当たりのPLの低下によるS/N比悪化の問題がある。本研究では、ウェーハ位置をサブピクセルシフトさせて撮影し、画像処理を行うことで、カメラを近づけることなくPL画像の高空間分解能化することを試みた。