[20a-E318-1~11] 【CS.7】 7.2 電子ビーム応用、7.4 量子ビーム界面構造計測、9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[20a-E318-1] 収差補正TEMのスルーフォーカスシリーズに基づく金属ナノ粒子三次元分布計測法の開発

〇山崎 順^1,2、鹿野 正起³、齋藤 晃²、吉田 健太⁴、小林 慶太⁵ (1.阪大電顕セ、2.名大未来研、3.阪大工、4.東北大金研、5.産総研)

キーワード：電子顕微鏡、三次元分布計測、金属ナノ粒子