[20a-E318-1~11] 【CS.7】 7.2 電子ビーム応用、7.4 量子ビーム界面構造計測、9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[20a-E318-3] STEM Moire法によるInP/InGaAs/InP構造の歪みと組成分布の評価

〇陳 桐民¹、赤堀 誠志¹、大島 義文¹ (1.北陸先端大)

キーワード：歪み