[20a-PA4-1~14] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

[20a-PA4-11] Plasmonic Sensor Using Silver Nanoparticles Exposed to Plasma for Detection of Binary-Mixture Organic Vapor

〇(D)Kei Hosomi¹, Koichi Ozaki¹, Katsumi Takahiro¹, Fumitaka Nishiyama², Shin Yokoyama² (1.Kyoto Inst. Tech., 2.Hiroshima Univ.)

Keywords:plasmonics, argon plasma, silver nanoparticles

銀ナノ粒子は可視光域に強い表面プラズモン共鳴を示すことからプラズモニックデバイスの有力な候補の一つである. 本講演ではアルゴンプラズマ処理による銀ナノ粒子の光学応答ガス検知センサの高感度化について報告する. また, 今回作製したセンサを用いた２成分系有機化合物蒸気の検知について議論する.