[20a-PA4-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[20a-PA4-6] Al(CH₃)₃凝縮層の低速電子及び酸素ラジカル照射によるAl₂O₃薄膜の低温形成

〇(M1)大川 敦輝¹、山田 大地²、大谷 洋平²、佐藤 哲也¹ (1.山梨大、2.諏訪東京理科大)

キーワード：金属酸化膜