[20a-PA4-1~14] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

[20a-PA4-9] Preparation of Au-ZnO composite film using open-air microplasma jet and its photocatalytic property (Ⅱ)

〇Yoshiki Shimizu¹, Kazuto Hatakeyama¹, Yoshie Ishikawa¹ (1.Nanomaterials RI, AIST)

Keywords:plasma, gold nanoparticle, nanocomposite film

大気開放型プラズマジェットで作製する金ナノ粒子/酸化亜鉛コンポジット薄膜の光触媒特性評価において、プラズマ照射で受ける薄膜の損傷が、光触媒特性の増加率低下を招く問題点が明らかになった。このような損傷の抑制に向けた最初の検討として、本研究ではイオン衝突による損傷低減を目指し、薄膜への正バイアス電圧印加効果を検討した。