[20a-PB4-1~10] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[20a-PB4-6] フォトレジストピラーを用いたプレーナ型熱電発電デバイスの上部ヒートシンク構造作製に向けた熱設計シミュレーション

〇柳澤 亮人¹、野村 政宏¹ (1.東大生研)

キーワード：熱電変換デバイス、エナジーハーベスト、シリコン

シリコンウエハ上に作製されるプレーナ型熱電発電デバイスの作製において、熱電材料内に温度差を与えるための上部ヒートシンク構造を設計し、これの熱特性についてシミュレーションを行った。有限要素法によるシミュレーションの結果、フォトレジストピラーを介して作製されるヒートシンク構造によって、デバイス面内の温度差がこれまでの10倍以上に増加する結果が得られた。