[20p-B11-1~12] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [20p-B11-5] ターゲット利用率向上 を目的とした回転迷路型 RF マグネトロンスパッタ装置の開発 とその評価

〇田中 黎¹、大津 康徳¹、中嶋 崇博¹ (1.佐大院工)

キーワード：スパッタリング、成膜、ターゲット利用率