[20p-B11-1~12] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [20p-B11-7] 次世代自動車窓材プラスチック板への撥水性薄膜合成のための高周波マグネトロンスパッタ装置の開発

〇井野 雄太¹、大津 康徳¹、安田 洸也¹ (1.佐大院工)

キーワード：スパッタリング、成膜、撥水