[20p-C213-1~14] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

[20p-C213-12] 単一磁束量子回路と超伝導ナノデバイスの集積化プロセスの検討

〇近藤 真生¹、佐野 京佑¹、田中 雅光¹、山下 太郎^1,3、井上 真澄²、藤巻 朗¹ (1.名大工、2.名城大工、3.JSTさきがけ)

キーワード：超伝導ナノデバイス