2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.13 半導体光デバイス

[20p-E204-1~11] 3.13 半導体光デバイス

2019年9月20日(金) 13:45 〜 17:00 E204 (E204)

沼居 貴陽(立命館大)

15:30 〜 15:45

[20p-E204-7] MEMS VCSELとVCSELビーム偏向器の集積デバイス

太田 浩紀1、顧 暁冬1、坂口 孝弘1、小山 二三夫1 (1.東工大未来研)

キーワード:ビーム偏向器、面発光レーザ

近年,ITS(高度道路交通システム)のために多くのメーカーが自動運転技術の実用化・普及に向けて取り組んでいる。自動運転技術は交通渋滞、交通事故、ドライバーの負担などの各交通課題の解決に期待されている。そこで光を使ったセンシングシステムであるLiDAR(Light Detection and Ranging)が注目されている。LiDARには高性能なビーム偏向器が必要とされているため、本報告ではMEMS VCSELと高解像点数が期待できるVCSELビーム偏向器を集積した構造について検討を行った。