[20p-E204-1~11] 3.13 半導体光デバイス

[20p-E204-7] MEMS VCSELとVCSELビーム偏向器の集積デバイス

〇太田 浩紀¹、顧 暁冬¹、坂口 孝弘¹、小山 二三夫¹ (1.東工大未来研)

キーワード：ビーム偏向器、面発光レーザ

近年，ITS(高度道路交通システム)のために多くのメーカーが自動運転技術の実用化・普及に向けて取り組んでいる。自動運転技術は交通渋滞、交通事故、ドライバーの負担などの各交通課題の解決に期待されている。そこで光を使ったセンシングシステムであるLiDAR(Light Detection and Ranging)が注目されている。LiDARには高性能なビーム偏向器が必要とされているため、本報告ではMEMS VCSELと高解像点数が期待できるVCSELビーム偏向器を集積した構造について検討を行った。