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[20p-E204-7] MEMS VCSELとVCSELビーム偏向器の集積デバイス
キーワード:ビーム偏向器、面発光レーザ
近年,ITS(高度道路交通システム)のために多くのメーカーが自動運転技術の実用化・普及に向けて取り組んでいる。自動運転技術は交通渋滞、交通事故、ドライバーの負担などの各交通課題の解決に期待されている。そこで光を使ったセンシングシステムであるLiDAR(Light Detection and Ranging)が注目されている。LiDARには高性能なビーム偏向器が必要とされているため、本報告ではMEMS VCSELと高解像点数が期待できるVCSELビーム偏向器を集積した構造について検討を行った。