[20p-E310-1~21] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20p-E310-3] N極性AlNにおけるH₂エッチングを用いた表面平坦性の向上N極性AlNにおけるH₂エッチングを用いた表面平坦性の向上

〇坂本 凌太¹、磯野 竜弥¹、伊藤 忠寿¹、安高 和哉²、川村 洋史²、岡田 成仁¹、只友 一行¹ (1.山口大院・創成科学、2.山口大学工学部)

キーワード：窒化アルミ