[20p-E310-1~21] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [20p-E310-4] 微傾斜サファイア基板上AlNの選択横方向成長

〇斉藤 貴大¹、中村 亮太²、藤川 紗千恵⁴、金 輝俊¹、前田 哲利³、岡田 成仁¹、平山 秀樹³、只友 一行¹ (1.山口大院・創成科学、2.山口大工、3.理研、4.東京電機大)

キーワード：窒化アルミニウム、選択横方向成長