[20p-E312-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[20p-E312-14] Feドープダイヤモンド薄膜のプラズマCVD成長

〇河野 慎¹、平間 一行¹、熊倉 一英¹ (1.NTT物性研)

キーワード：ダイヤモンド、ドーピング