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△ [20p-E313-15] 光散乱式・光遮蔽式パーティクルカウンタを用いた液中粒子数濃度測定における不確かさの粒径依存性評価
キーワード:液中粒子数濃度、光学式粒子計数器、不確かさ
液中粒子数濃度測定の計量トレーサビリティを確保するため,液中粒子数濃度の一次標準を開発した.一次標準に採用した測定方式は質量測定型光学式粒子計数法 (M-OPC 法) である.M-OPC 法は光散乱式・光遮蔽式パーティクルカウンタによる粒子計数と電子天秤による懸濁液の質量測定を同時に行う.M-OPC 法による液中粒子数濃度測定について,不確かさの粒径依存性を評価したので報告する.