[20p-E314-1~14] 16.3 シリコン系太陽電池

[20p-E314-4] 太陽電池用Si基板中のプラズマプロセス誘起ダメージ評価

〇(M2)大西 康平¹、原 豊¹、西原 達平¹、金井 皓輝¹、神岡 武文¹、大下 祥雄²、小椋 厚志¹ (1.明治大、2.豊田工大)

キーワード：太陽電池

本研究では、プラズマプロセスにおけるSi基板へのダメージ要因の特定を目的とし、酸素濃度、炭素濃度の異なる試料を用いて評価を行った。