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一般セッション(口頭講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池

[20p-E314-1~14] 16.3 シリコン系太陽電池

2019年9月20日(金) 13:30 〜 17:15 E314 (E314)

松本光弘(パナソニック)、石川亮佑(東京都市大)

14:45 〜 15:00

[20p-E314-6] 対向ターゲットスパッタ法による高品質i-a-Si:H層の形成とシリコンヘテロ接合太陽電池への応用

〇白取優大^1,2、宮島晋介¹ (1.東工大工、2.JSPS特別研究員)

キーワード：シリコンヘテロ接合太陽電池、対向ターゲットスパッタ