[20p-PA4-1~17] 3.8 光計測技術・機器

[20p-PA4-3] 振動環境下での安定な高速２次元シングルショット表面形状計測

〇阿波根 稔季¹、塩田 達俊¹、バン トゥアン^1,2 (1.埼大理工、2.セブンシックス(株))

キーワード：表面形状計測、断層計測、シングルショットイメージング

従来のOCTの限界を超えるシャッタースピード1μsでの2次元シングルショット表面形状計測を観察したところ、振動環境下でも鮮明に断面形状の測定できることを確認した。