[20p-PA7-1~8] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [20p-PA7-2] 酸化シリコンのチタン支援高速異方性化学エッチングの加工特性評価

〇西田 裕信¹、割澤 伸一¹、米谷 玲皇¹ (1.東大院新領域)

キーワード：金属支援エッチング、酸化シリコンエッチング、チタン

本研究では，チタン(Ti)を用いた酸化シリコン(SiO₂)のVHFエッチングに着目し，加工特性，メカニズムの解明を試みた．又，チタンシリサイド(TiSi₂)が高速化の原因であると仮説を立て，Tiにアニール処理を加えた上でエッチングを行いその影響の評価を行った．高速化は確認されなかったものの、アニール処理によりエッチング形状の変化を確認し，Ti及びSiO₂の組成割合がエッチング高速化の原因解明の鍵となる可能性を示した．