[20p-PA7-1~8] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[20p-PA7-5] 高感度ガスセンシングに向けたSnO₂薄膜の表面感応性に関する研究

〇米谷 玲皇¹、上木 瞭太郎¹、Penekwong Khemnat¹、吉原 健太²、九里 伸治³、池田 克弥³、指田 和之³、吉田 賢一³、山田 一郎³、三田 吉郎²、割澤 伸一¹ (1.東大院新領域、2.東大院工、3.新電元)

キーワード：ガスセンサ、SnO2、表面応答性

本研究では、高感度なガスセンシングに向け、SnO₂薄膜の表面応答性に関する研究を行った。薄膜化による高感度化を確認するとともに、薄膜表面の感応性の評価を行った。結果として、N₂雰囲気下で、ガス感応領域を顕在化できる可能性を見出した。表面感応性と表面材料物性の関係について詳細に報告する。