[20p-PB1-1~13] 6.5 表面物理・真空

[20p-PB1-9] スピンコート法によるカーボンナノチューブ薄膜作製時のバッファ層の検討

〇黒須 聖樹¹、西川 英一¹ (1.東理大)

キーワード：透明導電膜、カーボンナノチューブ

現在、透明導電薄膜として主にITO膜が用いられている。ITO膜の代替として、身近な炭素で構成され、変形に強いMWCNTを用いて透明導電膜の作製を試みる。MWCNTは欠点として、表面が粗く、ガラス基板等から剥がれやすいことがある。よって、本研究はタンニン酸を用いてバッファ層等の新しい層を導入することで、表面粗さを改善し、基板との密着性を高めることを目的とした。