[20p-PB2-1~18] 7 ビーム応用（ポスター）

[20p-PB2-8] 熱電界処理による貴金属被覆ナノ電子源の歩留まり向上と長寿命化の検討

〇浅井 泰尊¹、村田 英一¹、六田 英治¹ (1.名城大理工)

キーワード：微小電子源、電界イオン顕微鏡、電界放射顕微鏡

タングステン(W)針の先端を単原子層の貴金属で覆った後、1000 Kで加熱すると表面再構成が起こり、ナノ電子源として利用可能な微小なWのピラミッド(ナノピラミッド)構造を作製できる。我々は、ナノピラミッドを定常的に再現よく作製しており、現在は寿命を延ばす方法を模索している。構造変化が進まなくなった際、電界を印可しながら1200 K加熱を組み合わせることで高い確度でナノピラミッド形成をFIMで確認できた報告する。