[20p-PB3-1~11] 13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス

[20p-PB3-2] ZnSおよびZnSeナノ粒子を用いた光学薄膜の作製と評価

〇木野 大地¹、金 大貴²、脇田 和樹³、沈 用球¹ (1.大阪府大院工、2.大阪市大院工、3.千葉工大工)

キーワード：半導体ナノ粒子、屈折率、光学薄膜

光学薄膜とは、光の反射や干渉を利用した機能性薄膜であり、カメラのレンズや光ファイバーなどに広く用いられている。一方、半導体ナノ粒子はその種類、サイズ、組合せ、配列により光学定数制御が可能であることから、新しい光学薄膜への応用が期待されている。本研究では、ZnSeおよびZnSナノ粒子を用いて、波長オーダーの膜厚を有する多積層膜を作製し光学特性を評価することで、半導体ナノ粒子の光学薄膜への応用可能性を調べた。