[21a-B01-1~10] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

[21a-B01-8] スパースコーディングによる電子線ホログラムの雑音低減

〇(P)穴田 智史¹、野村 優貴^2,3、平山 司¹、山本 和生¹ (1.JFCC、2.パナソニック、3.名大)

キーワード：機械学習、画像処理、電子顕微鏡

電子線ホログラフィーでは，電子波の干渉縞のパターン(ホログラム)を解析することで試料内外の電磁場分布を計測できる．微小な電磁場を検出するには，低ノイズ・高コントラストのホログラムを取得することが重要である．本研究では，スパースコーディングに基づく画像処理技術を用いて，短い露光時間(低ドーズ)で撮影したGaAs p-n接合試料のホログラムのノイズを効果的に低減することに成功した．