[21a-B31-1~8] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[21a-B31-1] The effect of grain boundary on carrier transport in transparent and conductive polycrystalline oxide thin films

〇Tadatsugu Minami¹ (1.OEDS R&D Center, KIT)

Keywords:Transparent and conductive film, Conduction mechanism, Grain boundary scattering

縮退したAl添加ZnO(AZO)薄膜におけるホール移動度(μ^Hall)の温度依存性（この依存性はnにも影響される）をMunozらの理論を使って検討する．縮退を考慮した熱放出による粒界散乱（Setoの理論）をMunozらの理論に導入してμ^Munozを理論的に計算した結果，AZO透明導電膜の実験結果（μ_Hallの温度依存性及びμ_Hall-n特性）のいずれにおいても良いフィッティングが得られた．