[21a-B31-1~8] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21a-B31-2] ZnOの反応性イオンエッチングによる損傷とHClによる損傷回復

〇中須 大蔵¹、嶋 紘平¹、小島 一信¹、秩父 重英¹ (1.東北大多元研)

キーワード：酸化亜鉛、反応性イオンエッチング、時間分解フォトルミネッセンス