[21a-C309-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[21a-C309-4] (K, Na)NbO₃薄膜への添加物効果

〇(M2)藤田 卓也¹、譚 賡¹、神野 伊策¹ (1.神大院工)

キーワード：KNN、圧電薄膜、添加

現在、Pb(Zr, Ti)O₃ (PZT)圧電薄膜の代替材料として(K, Na)NbO₃ (KNN) 薄膜が注目されている。KNN薄膜の電気特性および圧電特性向上のために、様々な元素による添加が有効な手段と考えられているが、これまで系統的な研究報告は少ない。そこで、本研究では多元RFスパッタリング法を用いてKNNと添加ターゲットを同時スパッタすることでKNN薄膜へのNaやMnなどの添加を行い、その結晶構造、電気特性および圧電特性に与える影響を調べた。