[21a-C309-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[21a-C309-6] スパッタ法によるSi基板上へのBiFeO₃薄膜のエピタキシャル成長Ⅱ

〇岡本 直樹¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大工)

キーワード：強誘電体、BiFeO3、圧電体