2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[21a-C309-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

2019年9月21日(土) 09:00 〜 12:30 C309 (C309)

藤沢 浩訓(兵庫県立大)、清水 荘雄(東工大)

10:15 〜 10:30

[21a-C309-6] スパッタ法によるSi基板上へのBiFeO3薄膜のエピタキシャル成長Ⅱ

岡本 直樹1、吉村 武1、藤村 紀文1 (1.阪府大工)

キーワード:強誘電体、BiFeO3、圧電体