[21a-C310-1~12] 6.4 薄膜新材料

[21a-C310-10] (Ti,V)O₂/TiO₂(100)膜における膜厚がスピノーダル分解に与える影響

〇福田 貴優¹、横谷 尚睦²、村岡 祐治² (1.岡山大院自然、2.岡山大基礎研)

キーワード：(Ti,V)O2膜、スピノーダル分解、膜厚

TiO₂(100)基板上に作製したTi_0.2V_0.8O₂固溶体膜において、膜厚を約240 nmから5 nmまで変化させていき、膜厚がスピノーダル分解に与える影響を調べた。作製した膜では、膜厚によってc軸長の違いが見られ、薄い膜はc軸長歪みが残っていることがわかった。また、膜厚20 nmのような薄い固溶体膜をアニールしてもスピノーダル分解が観測できなかった。膜厚によるスピノーダル分解の違いをTiVO₂膜のc軸長の残留歪みの大きさと関連付けて議論したい。