[21a-C310-1~12] 6.4 薄膜新材料

[21a-C310-2] 塗布型粘土絶縁膜を用いたステンレス基板Cr-N薄膜ひずみセンサ素子の断面観察

〇丹羽 英二¹、林 晋也²、須貝 一郎²、野口 幸紀²、飯島 高志³、棚池 修³、蛯名 武雄³ (1.電磁研、2.イチネンケミカルズ、3.産総研)

キーワード：塗布型絶縁膜、粘土、Cr-N薄膜

金属基材上への薄膜センサ形成に必要な絶縁層として，簡便で安価に形成できる新規塗布型粘土絶縁膜が期待されている。著者らはこれまで，その粘土膜が絶縁膜として良好な密着性，表面平滑化機能，電気的性質を有すること，その絶縁膜を用いたステンレス基板Cr-N薄膜ひずみセンサ素子が高感度で安定なひずみ計測を可能とすること等を報告した。本報では，その薄膜センサ素子の断面観察結果について報告する。