[21a-C310-1~12] 6.4 薄膜新材料

[21a-C310-3] 白金微粒子坦持した酸化チタンナノチューブ薄膜を用いた高感度ガスセンサ

〇阿部 宏之¹、馬 騰²、但木 大介³、平野 愛弓^2,3、木村 康男⁴、庭野 道夫⁵ (1.宮城県産技セ、2.東北大材料科学高等研、3.東北大通研、4.東京工科大工、5.東北福祉大)

キーワード：酸化チタンナノチューブ薄膜、ガスセンサ、白金微粒子

本研究では，ガスセンサの性能向上（感度向上及び応答・回復時間の短縮）のため，原子層堆積法を用いて触媒金属である白金微粒子をTiO₂ ナノチューブ薄膜に坦持したガスセンサを作製した。混合ガス（一酸化炭素，酸素，窒素を含む）中の一酸化炭素濃度を0.01～0.3%の範囲で変化させて測定した検出特性（ガス吸着によるTiO₂ ナノチューブ薄膜の抵抗値変化）から，0.01%の濃度までの一酸化炭素が10秒程度で検出できることが確認できた。