[21a-C310-1~12] 6.4 薄膜新材料

[21a-C310-8] 光MOD法により成膜したBi,Ga:Nd₃Fe₅O₁₂薄膜の特性評価

〇西川 雅美¹、相場 遥佳¹、袖山 和斗¹、河原 正美²、中島 智彦³、土屋 哲男³、石橋 隆幸¹ (1.長岡技大工、2.高純度化学、3.産総研)

キーワード：磁性ガーネット、ファラデー効果、エキシマレーザ

光MOD法によりBi,Ga:Nd₃Fe₅O₁₂薄膜を単結晶GGG基板上に作製した。前駆体膜にKrFレーザを照射することで、ガーネットのエピタキシャル相が生成すること、及び得られた薄膜は可視光領域にファラデー効果を示すことを確認した。レーザ照射時の基板温度とレーザのフルエンスは、薄膜の組成、表面形態に影響を及ぼし、基板加熱をしながら比較的低いフルエンスのレーザを照射すると、表面が滑らかな、均一組成のガーネット相が成長する傾向が見られた。