[21a-PA2-1~31] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[21a-PA2-21] マグネトロンスパッタ法によるAZO薄膜へのZn添加方法の検討

〇清水 英彦¹、岩野 春男¹、川上 貴浩¹、福嶋 康夫¹、永田 向太郎¹ (1.新潟大工)

キーワード：AZO、薄膜、スパッタ法

ZnOにAl₂O₃を2wt.%添加したAZO焼結体の中心に，Zn円板を貼り付けた複合ターゲットを使用し，マグネトロンスパッタ法により薄膜を堆積し，AZO薄膜へのZn添加について検討を行った。