[21p-B31-1~14] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21p-B31-1] 塩化物系ガリウム希薄水溶液によるα型酸化ガリウム薄膜のミストCVD成長(II)

〇宇野 和行¹、松本 一寿¹、田中 一郎¹ (1.和歌山大システム工)

キーワード：酸化ガリウム、ミストCVD

α型酸化ガリウムのミストCVD成長において，原料水溶液のpHと成長速度の関係を調べた。